直接燃烧法、催化燃烧法、蓄热式热氧化炉(RTO)设备本身，只有在点火时，如果违反操作规程，先送气后点火才会产生爆炸。
冷凝回收法、吸收、吸附法(直接吸附法、吸附-回收法、新型吸附-催化燃烧法)、直接燃烧法、催化燃烧法等废气处理设施本身一般不会产生爆炸。
废气处理系统爆炸的根本原因是废气中可燃气体的浓度处于爆炸极限同时存在点火源。
因此防止废气处理设备爆炸的主要措施，是要控制各废气吸入点吸入的各有机气体浓度小于爆炸下限，建议以爆炸下限30%(v/v)为设防值(我们在此称之为安全浓度)。
如果某点吸入的有机气体浓度过高，则应采取冷却或冷冻的方法，采用金属换热器械(如板式冷凝器)和金属管道(要防静电接地)，使其中的有机气体安全地冷却成液体回流或收集到某容器，使进入废气收集系统的废气浓度降低到安全浓度。
以蓄热式热氧化炉(RTO)为例，仔细阅读其使用说明中，RTO设备制造加工厂家均提到只适用于低浓度(低于30%LFL)、大风量。
化工企业不仅要关注正常状况下，各废气吸入点吸入的废气浓度;更要关注非正常状态下，各废气吸入点吸入的废气浓度，例如要考虑反应器冲料、安全泄放等高浓度有机气体，大大高于爆炸下限，切不可排入只适用于低浓度有机废气处理系统，以防产生废气管道系统和处理设施发生爆炸事故。由于废气管道连接许多设备和车间，废气处理系统的爆炸事故，严重时会引起其他设备或车间的连锁反应。
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