2018中国上海国际靶材与镀膜新材料展

2018中国（上海）国际靶材与镀膜新材料展

China（Shanghai）International Target Material & Coating Film Technology Expo 2018

时 间：2018年6月12—14日       

地 点：上海光大会展中心

█展会简介：

由中国电子学会电子材料学分会、汉慕会展(上海)有限公司联合主办单位的“M-E中国(上海)国际靶材与镀膜新材料展”将于2018年6月12-14日在上海光大会展中心举办，展览会实施“区域聚焦、全国发展”的战略目标，重点围绕环渤海、长三角、珠三角和海西经济区域，聚焦专业用户，全力构建并优化涵盖靶材与镀膜材料产业链。在靶材与镀膜材料人长期以来的肩负使命和不懈的努力，倾力打造“靶材与镀膜行业专业品牌展”的愿景驱动下，以不断创新，引领行业进步，实现价值共赢的使命，我们一直不断致力于靶材与镀膜新材料企业参展的邀请，从而实现专业用户的节能减排，清洁制造加工和科技环保等服务。

同时联合行业组织邀请“存储、显示器、微电子、镀膜、涂层、电子及精密器件、电子信息、触摸屏、玻璃、半导体和集成电路、光学/光通信/光电/光伏、薄膜、手机配件、金属外壳、家电、航天航空及军工、太阳能、IT、消费电子、电子元器件、工/量具、医疗器具、汽车零部件、灯具、五金件、制表业、眼镜业、水晶制品、餐具、不锈钢板/管、家具、锁业、拉手、器血、装饰品、防腐蚀、科研院所”等专业用户到会参观、采购、交流，一个颇具规模的现代化的“靶材与镀膜新材料展览会”高端产品正健步走来。

主办单位：

中国光学光电行业协会

中国电子学会电子材料学分会 

汉慕会展服务(上海)有限公司

支持单位：

IUVSTA国际真空联盟

国际电气电子工程师学会

中国科学院微电子研究所

中国电子学会半导体与集成技术分会

全国光学功能薄膜材料标准化技术委员会   

承办单位：

汉慕会展服务(上海)有限公司

█展出范围：

一、靶材及专用设备类

1、溅射靶材：高纯钴靶、超高纯Nipt合金靶材、铜和铜合金靶材、钛和钛合金靶材、金属溅射镀膜靶材、合金溅射镀膜靶材、陶瓷溅射镀膜靶材、陶瓷溅射靶材等其他陶瓷靶材、磷化铟靶材、砷化铅靶材、砷化铟靶材；

2、金属靶材：镍靶、铁镍靶、钛靶、锌靶、铬靶、钼靶、镁靶、铌靶、锡靶、铝靶、铟靶、铁靶、锆铝靶、钛铝靶、锆靶、铝硅靶、硅靶、铜靶、钽靶、锗靶、银靶、金靶、钆靶、镧靶、钇靶、铈靶、钨靶、镍铬靶、铪靶、钨靶等。

3、陶瓷靶材：ITO靶、氧化镁靶、氧化铁靶、氮化硅靶、碳化硅靶、氮化钛靶、氧化铬靶、氧化锌靶、硫化锌靶、二氧化硅靶、一氧化硅靶、氧化铈靶、二氧化锆靶、二氧化钛靶、二氧化锆靶、二氧化铪靶，二硼化钛靶、二硼化锆靶、三氧化钨靶、氧化二铝靶、五氧化二铌靶、氟化镁靶、氟化钇靶、硒化锌靶、氮化铝靶，氮化硅靶，氮化硼靶，氮化钛靶，碳化硅靶，铌酸锂靶、钛酸镨靶、钛酸钡靶、钛酸镧靶、氧化镍靶、溅射靶材等。

4、合金靶材：铁钴靶、铝硅靶、钛硅靶、铬硅靶、锌铝靶、钛锌靶材、钛铝靶、钛锆靶、钛硅靶、钛镍靶、镍铬靶、镍铝靶、镍钒靶、镍铁靶等。

5、机械设备：真空镀膜机、真空蒸镀设备、光学镀膜机、溅射镀膜机、眼镜镀膜机、光纤镀膜、薄膜沉积设备、磁控镀膜、蒸镀设备、离子束沉积设备等镀膜设备；

二、镀膜材料类

1、镀膜材料：金属膜料、氧化物、氟化物、硫化物、钛酸物、混合物等各种膜材、镀膜蒸发料；PVD涂层、TiN涂层、TiC涂层、TiCN涂层、ZrN涂层、CrN涂层、MoS2涂层、TiAlN涂层、TiAlCN涂层、TiN-AlN涂层、CNx涂层、DLC涂层、ta－C涂层等多元复合涂层；

2、氧化物：一氧化硅SiO,二氧化硅SiO2,二氧化钛TiO2,二氧化锆ZrO2,二氧化铪HfO2,一氧化钛TiO,五氧化三钛Ti3O5，五氧化二铌Nb2O5，五氧化二钽Ta2O5,氧化钇Y2O3，氧化锌ZnO等高纯氧化物镀膜材料。

3、氟化物：氟化钕NbF3,氟化钡BaF2，氟化铈CeF3，氟化镁MgF2，氟化镧LaF3，氟化钇YF3，氟化镱YbF3，氟化铒ErF3等高纯氟化物。

4、其它化合物：硫化锌ZnS，硒化锌ZnSe，氮化钛TiN，碳化硅SiC，钛酸镧LaTiO3，钛酸钡BaTiO3，钛酸锶SrTiO3，钛酸镨PrTiO3，硫化镉CdS等真空镀膜材料。

5、金属镀膜材料：高纯铝Al，高纯铜Cu，高纯钛Ti，高纯硅Si，高纯金Au，高纯银Ag，高纯铟In，高纯镁Mg，高纯锌Zn，高纯铂Pt，高纯锗Ge，高纯镍Ni,高纯钽TA，金锗合金AuGe，金镍合金AuNi，镍铬合金NiCr，钛铝合金TiAl，铜铟镓合金CuInGa，铜铟镓硒合金CuInGaSe，锌铝合金ZnAl，铝硅合金AlSi等金属镀膜材料。