Kleindiek纳米探针台是一种精密的测试设备，专为纳米级别的测量与研究设计，广泛应用于微电子学、材料科学、生物工程等领域。该设备的主要功能是用于电子、物理和化学特性测试，尤其在半导体器件、MEMS（微机电系统）和NEMS（纳米机电系统）的研发中，具有重要作用。
Kleindiek纳米探针台的设计特点包括高精度的.控制、卓越的稳定性以及灵活的测试功能。其核心部分包括一个高精度的微动台，能够在极小的尺度上进行精准.。该探针台配备有多个探针，探针的尖端可以精确接触到样品表面进行电学、热学或机械测试。通过精密的运动控制系统，可以实现探针在三个轴向上的高精度移动，确保探针能够以微米甚至纳米级别的精度触及样品。
设备的主要优势在于其高分辨率、低噪声和大范围的扫描能力，使得它能够应对各种不同的测试需求。从简单的电流-电压特性测试，到复杂的多物理场耦合分析，Kleindiek纳米探针台都能够提供可靠的数据支持。此外，它还具有可扩展性，能够与其他测试设备（如扫描电子显微镜、原子力显微镜等）联合使用，从而获得更多元化的实验数据。
在操作上，Kleindiek纳米探针台提供了友好的用户界面和强大的软件支持，使得操作更加便捷，降低了操作者的技术要求。通过软件，用户可以设置测试的参数、控制探针台的移动轨迹、监控测试过程，并实时获取测量结果，确保实验数据的准确性和一致性。
微纳米操纵仪，在SEM电镜样品室内像一只或多只灵活的"手“。主要功能包括：
（1）在SEM电镜观察过程中样品的原位操纵，搬移等；
（2）在双束离子刻蚀系统中通过操纵仪和微镊子（选配插件MGS2-EM）提取双束系统制备的TEM薄片样品；
（3）通过选配EBIC放大器，对样品做EBIC/EBAC/RCI等成像，实现微纳米材料/器件的PN结观测，电阻变化.，IC开路探测，失效分析等功能。
17)Kleindiek:
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