泽攸SEM/TEM原位分析集成了扫描探针控制单元,可在三维空间内对电学探针与光纤探针进行亚纳米级别精度的操纵。通过电学探针施加电场,通过光纤施加光场,对单个纳米结构进行操控并进行电学性质、光电性质的测量。并可在物性测量的同时,动态、高分辨地对样品的晶体结构、化学组分、元素价态进行综合表征,大大地扩展了扫描电镜的功能与应用领域。
泽攸SEM/TEM原位分析性能指标:
1、电学测量指标:
①包含一个电流电压测试单元;
②电流测量±1.5 A,±100 fA;
③电压输出±200 V,±100 nV;
④自动电流-电压(I-V)测量、电流-时间(I-t)测量,自动保存。
2、扫描探针操作指标:
①粗调范围:XY方向2.5 mm,Z方向1.5 mm;
②细调范围:XY方向18 um,Z方向1.5 um;
③细调分辨率:XY方向0.4 nm,Z方向0.04 nm。
3、光纤指标:
①光纤外径250 um,保证电镜系统真空指标;
②可选光纤探针、平头光纤、光纤透镜;
③可选SMA接头、FC接头。
4、力学传感器指标:
①载荷100 mN(可选0.1 mN、1 mN、10 mN、100 mN);
②力测量实测噪声优于5nN(0.1 mN大载荷时);
③力测量实测分辨率优于5 nN(0.1 mN大载荷时);
④自动测量力-距离曲线,自动保存。
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