随着 5G 与移动装置的兴起与普及,越来越多新型光传感器被应用于我们的日常生活中,为了能更好的应用在行动装置上,这些先进光传感器的组件感光面积越做越小。但这些应用却对先进光传感器的光感测性能要求却越来越高,在感光面积微缩的过程中,也带来量子效率精准测量的挑战;例如,传统聚光型小光斑在不同波长下,色散差造成焦点位移可到 mm 等级。难以将所有的光子都聚焦到微米等级的感光面积中。因此,难以准确测得全光谱量子效率曲线。APD-QE 采用光束空间均匀化技术,利用 ASTM 标准的 ”Irradiance Mode” 测试方式,与各种先进探针台形成完整的微米级光传感器全光谱量子效率测试解决方案。APD-QE 已被应用于多种先进光传感器的测试中,例如在 iPhone 光达与其多种光传感器、Apple Watch 血氧光传感器、TFT 影像传感器、有源主动像素传感器(APS)、高灵敏度间接转换 X 射线传感器等。
quantum efficiency传统 QE 系统在新型光传感器测试的挑战:
1.市面上的量子效率系统多为”功率模式”。
2.随行动装置的大量普及,先进光传感器如 APD、SPAD、ToF 等,组件收光面积均微型化,有效收光面积由数十微米到数百微米 (10um ~ 200um)。
3.光束聚焦的”功率模式”,用来测量小面积的先进光传感器的问题:
*难以将所有光子,*打进微米等级的有效收光面积(无法达到功率模式的要求) => 绝对 EQE 值难以取得。
*在聚光模式下,难以克服光学色散差、球面像差等带来的测量误差。 => EQE 光谱曲线不正确。
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