硅钼棒在高温氧化气氛下,表面生成一层石英保护层防止硅钼棒继续氧化。当元件温度大于1700℃时,石英保护层熔融,元件在氧化气氛下,继续使用,石英保护层重新生成。新工艺1800型硅钼棒使用温度可达1750℃。硅钼棒不宜在400-700℃范围内长期使用,否则元件会因低温的强烈氧化作用而粉化。
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硅钼棒在高温氧化气氛下,表面生成一层石英保护层防止硅钼棒继续氧化。当元件温度大于1700℃时,石英保护层熔融,元件在氧化气氛下,继续使用,石英保护层重新生成。新工艺1800型硅钼棒使用温度可达1750℃。硅钼棒不宜在400-700℃范围内长期使用,否则元件会因低温的强烈氧化作用而粉化。