JSM-IT200钨灯丝扫描电镜参数性能
分辨率:高真空模式 3.0nm(30kV)、8.0nm(15kV)、15nm(1.0kV)
低真空模式 :4.0nm(30kV BED)
放大倍率:×5~×300,000 以(128mm×96mm作为规定显示尺寸)
放大倍率:×14~×839,724 显示器上的图像倍率
电子枪:一体化预对中钨灯丝 完全自动电子枪合轴
加速电压:0.5 kV ~ 30 kV
探针电流:1pA ~ 0.3μA
低真空压力设置范围:10~100Pa
物镜光阑:1 档,XY 带有微调功能
自动功能:灯丝调整、电子枪合轴调整、聚焦/像差/亮度/衬度调整
大样品尺寸:150mm直径×48mm高度
样品台:XY 2轴标配(全对中式);X:80mm Y:40mm Z:5mm~48mm 倾斜:-10~90° 旋转:360°
蒙太奇功能:标配
样品架示意图显示范:127 mmΦ
图像获取的像素数:320×240;640×480;1,280×960;2,560×1,920;5,120×3,840;
显示器:24英寸触摸屏
EDS测量功能:EDS的规格参照有(两点间距离、平行线间距、角度、直径等)
数据管理功能:SMILE VIEWTM Lab
报告书生成功能:输出到Microsoft?Word
语言切换:UI上可使用(日语、英语)
抽真空系统:完全自动;TMP:1台;RP:1台
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