中文名称: 四甲基氢氧化铵
中文别名: 氧化四甲铵; 氢氧化四甲基胺
英文名称: Tetramethylammonium hydroxide
CAS号: 75-59-2
EINECS号: 200-882-9
分子式: C4H13NO
分子量: 91.15
密度: 1.016
沸点: 110℃
闪点: 6℃
产品用途:
用作极谱分析试剂
电子级四甲基氢氧化铵具有强碱性,25%的水溶液被称为碱性显影液,主要是利用其将光阻经曝光后形成的有机酸中和、剥落,留下未反应的光阻图案。金属离子<5ppb。