PFA花篮耐腐蚀晶舟盒晶圆盒 wafer cassette

 
 
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品牌 南京滨正红
过期 2022-07-05 已过期
更新 2021-07-05 11:07
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南京滨正红仪器有限公司

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详细说明
花篮
花篮也称为晶圆盒,清洗盒,晶舟盒,wafer cassette,在半导体制造过程中用于运输和存储晶圆。也被称为晶片载体,它们被设计用来容纳或携带几个相同尺寸的晶片,并可用于一系列材料以支持特定的应用,如热加工。真空棒通常用于将晶片收集和沉积在盒中,然后用盒在处理室和其他存储容器之间转移晶片。定制磁带可以设计成与特定的系统或存储容器接口。我司花篮能够容纳一个到多个晶圆,通常好多可容纳25个晶圆用于运输或存储。开放式侧壁结构,便于晶圆处理。

PFA花篮独特性能优势:
        1. 金属元素空白值低(铅、铀等元素含量<0.01ppb)

2. 耐强腐蚀:耐各种有机溶剂和强酸强碱

3. 无溶出和析出,纯净无污染

4. 耐高低温:-200至260℃

5. 耐绝缘、抗氧化、防静电  

 

可雷雕可装RFID  进行载具和材料追踪

品名

耐温范围

特性

应用实验

PFA花篮

 

 

-200至260℃

 

 

 

1.耐强酸、强碱和各种有机溶剂

2.金属元素空白值低

3.无溶出和析出

4.耐候性佳、不易应力变形

5.耐磨、抗静电性

6.有优良的化学稳定性

 

 

 

半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆。

PTFE 花篮

 

 

 

-200至250℃


花篮尺寸

长x宽x高

容量

槽间距

适 用 晶 圆

50mm(2英寸)(有豆)

142.1(L)x67.8(W)x59.0(H)mm

25PCS

4.76mm

2 inch (Ø50mm)

厚度0.5mm~0.7mm晶圆

50mm(2英寸)(无豆)

142.1(L)x67.8(W)x59.0(H)mm

25PCS

4.76mm

2 inch (Ø50mm)

厚度0.5mm~0.7mm晶圆

2.5英寸

142(L)x79(W)x73(H)mm

25PCS

4.76mm

2.5 inch 晶圆

75mm(3英寸)

142.49(L)x94.36(W)x82.53(H)mm

25PCS

4.76mm

3 inch (Ø75mm) 晶圆

100mm(4英寸)

142.24(L)x125.48(W)x114.3(H)mm

25PCS

 4.76mm

4 inch (Ø100mm)

厚度0.5mm~0.7mm晶圆

100mm(4英寸)(镂空版)

142.24(L)x125.48(W)x114.3(H)mm

25PCS

4.76mm

4 inch (Ø100mm)

厚度0.5mm~0.7mm晶圆

104mm(4.125英寸)(镂空版)

142.24(L)x125.48(W)x114.3(H)mm

25PCS

4.76mm

4.125″ inch(Ø104mm)

厚度0.5mm~0.7mm晶圆

125mm(5英寸)

152.4(L)x142.88(W)x146.05(H)mm

25PCS

4.76mm

5 inch (Ø125mm)

厚度0.5mm~0.7mm晶圆

150mm(6英寸)

143.38(L)x177.8(W)x171.45(H)mm

25PCS

4.76mm

6 inch (Ø150mm)晶圆

200mm(8英寸)

203.2(L)x233.05(W)x218.44(H)mm

25PCS

6.35mm

8 inch (Ø200mm) 晶圆

200mm(8英寸)(镂空版)

203.2(L)x233.05(W)x218.44(H)mm

25PCS

6.35mm

8 inch (Ø200mm) 晶圆

150mm(6英寸)

178(L)x144(W)x115(H)mm

25PCS

4.76mm

6 inch (Ø150mm)晶圆

200mm(8英寸) 

234.19(L)x220.5(W)x159(H)mm

25PCS

6.35mm

8 inch (Ø200mm)晶圆

150mm(6英寸)

177(L)x145(W)x173(H)mm

12PCS

9.525mm

6 inch (Ø150mm) 晶圆

200mm(8英寸)

203.05(L)x233.05(W)x218.44(H)mm

13PCS

12.7mm

8 inch (Ø200mm) 晶圆

300mm(12英寸) 

350(L)x180(W)x320(H)mm

13PCS

10mm

12 inch (Ø300mm) 晶圆

200mm(8英寸)

200(L)x228(W)x250(H)mm

25PCS

6.35mm

8 inch (Ø200mm) 晶圆

150mm(6寸)

143.38(L)x177.8(W)x171.45(H)mm

25PCS

4.76mm

6 inch (Ø150mm)晶圆

178(L)x144(W)x115(H)mm

25PCS

4.76mm

6 inch (Ø150mm)晶圆

177(L)x145(W)x173(H)mm

12PCS

9.525mm

6 inch (Ø150mm) 晶圆

200mm(8寸)

203.2(L)x233.05(W)x218.44(H)mm

25PCS

6.35mm

8 inch (Ø200mm) 晶圆

234.19(L)x220.5(W)x159(H)mm

25PCS

6.35mm

8 inch (Ø200mm)晶圆

203.05(L)x233.05(W)x218.44(H)mm

13PCS

12.7mm

8 inch (Ø200mm) 晶圆

200(L)x228(W)x250(H)mm

25PCS

6.35mm

8 inch (Ø200mm) 晶圆

300mm(12寸)

350(L)x180(W)x320(H)mm

13PCS

10mm

12 inch (Ø300mm) 晶圆


聚四氟乙烯系列产品:

四氟烧杯,四氟坩埚,四氟烧瓶,四氟药匙,四氟镊子,四氟培养皿,四氟蒸发皿,四氟接头,四氟阀门,四氟酶标板,四氟试剂瓶,四氟离心管,四氟漏斗,四氟容量瓶,四氟砝码,四氟试管架、四氟搅拌棒,四氟药勺,四氟布氏漏斗, 四氟消解瓶等。

南京滨正红仪器有限公司

夏 晴 晴 Q  Q:354 067 8526              手  机:139 139 23205          

电  话:025- 8322 3500                   传  真:025-8555 7400      

E-mail:zh3500@126.com

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