旋片式真空泵-电子轰击除气是通过让电子获得动能打入到固体表面较深处，将能量以热能形式传给固体，使其内部原子向表面扩散，而表面上吸附的原子则得到释放；烘烤加热除气是通过加热使吸附的气体从被加热的表面上解吸。
旋片式真空泵-两者的机理本质上相同，受制于材料体内杂质向表面扩散速率，而区别在于，电子轰击除气过程对氧化膜的破坏非常迅速，而加热除气对材料表面的氧化膜破坏很小。
烘烤加热除气时，大多数金属氧化物的化学稳定性较好，一般不会发生热离解。其对氧化膜的清除主要依靠加热时从金属体内扩散出来的碳原子的还原作用，这种还原过程很慢。而电子轰击除气过程中，材料表面的氧化膜在电子轰击下会很快产生离解并清除，而体内的氧会随之向表面扩散补充。这种差异下，与烘烤加热除气相比，电子轰击除气的起始出气率很高，一般要大几到十几倍。
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