根据低温真空泵泵的工作形式，其种类也分为3种：
1、低温冷凝泵，利用液氦冷却固体表面，使空气中除氢气、氦气外的大部分气体冷凝，达到抽真空的目的。
2、低温吸附泵，在低温表面上粘帖固体吸附剂，当气体入射到吸附剂上而被捕集；低温吸附往往与低温冷凝结合组成可以抽除各种气体的冷凝吸附泵结构。
3、制冷机低温泵。制冷机低温泵则是将低温面及挡板组装在封闭的循环制冷机系统中与制冷机组组合成一体的低温泵，同时利用了低温表面的低温冷凝、低温吸附以及低温捕集等物理现象来获得和保持真空。
低温真空泵作为一种无油高真空环境获得设备，广泛应用于外层宇宙空间模拟、高能物理及等离子体研究、微电子学、薄膜制备、表面分析仪器等领域中。
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