低温等离子废气处理设备中含有污染物种类很多，其物理和化学性质非常复杂，毒性也不尽相同。燃料燃烧排出的废气中含有二氧化硫、氮氧化物（NOx）、碳氢化合物等；因工业制造加工所用原料和工艺不同，而排放各种不同的有害气体和固体废物，含有各种组分如重金属、盐类、放射性物质；汽车排放的尾气含有铅、苯和酚等碳氢化合物。
低温等离子废气处理设备而工业废气处理主要治理的气体种类有苯、甲苯、二甲苯，乙酯， 丁酮，乙醇，，甲醛等有机废气，硫化氢，二氧化硫，废气治理和有机废气治理。工业废气处理设备普遍应用于化工厂，电子厂，印刷厂，喷漆车间，涂装厂，食品厂，橡胶厂，塑料厂，镀锌车间，涂料厂，石化行业等产生粉尘，异味，烟尘的场所。
低温等离子废气处理设备方法和废气处理设备原因：
低温等离子废气处理设备的原理有活性炭吸附法、催化燃烧法、催化氧化法、酸碱中和法、等离子法等多种原理。 通常的"三苯"废气管理一般采用焚烧和裂解以及变体流程等方法。应用结果表明：管理工艺技术，具有实际的应用价值和推广价值。甲苯在常温下为无色液体，极易挥发，其蒸汽对眼睛、呼吸道、皮肤有很强的刺激性，吸入8小时浓度为375-750mg/m3的甲苯蒸汽时，会引起疲劳、恶心、错觉、活动失灵、全身无力、头痛等症状;长时间吸入会因呼吸器官中枢麻木而导致死亡。在我国划定排放的产业气体中甲苯的浓度必需小于60mg/m3。
低温等离子废气处理设备是一种新型高效废气处理低温等离子废气处理设备，它改变了使用活性炭材料的工艺技术，无需再生处理原料，无需专人负责，不产生二次污染，更换及维护保养便利。之前普遍采用前者管理技术，也有采用超临界水冷凝的管理技术。等离子有机废气净化器工作原理是采用高压发生器形成低温等离子体，在均匀能量约5eV的大量电子作用下，使通过净化器的等有机废气分子转化成各种活性粒子，与空气中的O2结合天生H2O、CO2等低分子无害物质，使废气得到净化
