产品介绍:
HS‐机RT原生多晶电阻率测试仪是一款好电阻率测试仪器，具有电阻率大量程及超大量程测量的特点，实现了电阻率从0.0001欧姆.厘米到几万欧姆.厘米（可扩展）的测试范围，具有测量精度高、稳定性好、测量范围广、结构紧凑、使用方便等特点。是西门子法、硅烷法等工艺制造加工原生多晶硅料的企业、物理提纯制造加工多晶硅料制造加工企业、半导体材料厂、器件厂、科研部门、高等院校以及需要超大量程测试电阻率测试的企业的好佳帮手。
产品特点
■ 适用于西门子法、硅烷法等工艺制造加工原生多晶硅料的企业
■ 适用于物理提纯制造加工多晶硅料制造加工企业
■ 适用于光伏拉晶铸锭及IC半导体器件企业
■ 适用于科研部门、高等院校及需要超大量程测量电阻率的企业
■ 测量精度高，除了具有厚度修正功能外、还有温度修正、圆片直径修正等功能
■ 独特的设计能有效消除测量引线和接触电阻产生的误差， 实现了测量的高精度和极宽的量程范围
■ 双数字表结构使测量更精确，操作更简便。
■ 具有强大的测试数据查询及打印功能
■ 测量系统可实现自动换向测量、求平均值、好大值、好小值、平均百分变化率等
■ 四探针头采用进口红宝石轴套导向结构，使探针的游移率减小，测量重复性大大提高
■ 采用进口元器件，留有更大的安全系数，大大提高了测试仪的可靠性和使用寿命
■ 测量电流采用高度稳定的特制恒流源（万分之五精度），不受气候条件的影响
■ 具有正测反测的功能，保证测试结果的准确性
■ 具有抗强磁场和抗高频设备的性能
■ 具有抗强磁场和抗高频设备的性能
推荐工作条件
■ 温度：23±2℃
■ 湿度：≤65%
■ 湿度：≤65%
■ 无较强的电场干扰，电源隔离滤波，无强光直接照射
技术指标
■ 可测电阻率范围：10‐5 —1.9×105Ω·cm（可扩展）
■ 测量精度＜3%
■ AC 220V±10% 50/60 Hz 功率：12W
典型客户
北京，浙江，四川，河北，河南等地的硅料制造加工企业及半导体光伏拉晶客户。
