低温等离子废气处理技术，采用双介质阻挡放电形式产生等离子体，所产生等离子体的密度是其他技术产生等离子体密度的1500倍，好初用于氟利昂类、哈隆类物质的分解处理，后延伸至工业恶臭、异味、有毒有害气体处理。该技术节能、环保，应用范围广，所有化工制造加工环节产生的恶臭异味几乎都可以处理，并对二恶英有良好的分解效果。
等离子体工业废气处理技术已研制出标准化废气治理设备，利用所产生的高能电子、自由基等活性粒子激活、电离、裂解工业废气中的各组成份，使之发生分解，氧化等一些列复杂的化学反应，再经过多级净化，从而消除各种污染源排放的异味、臭味污染物，使有毒有害气体达到低毒化、无毒化，保护人类生存环境。
低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的 放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。（注：低温等离子体相对于高温等离子体而言，属于常温运行。）
低温等离子净化设备治理工艺
该套工艺设备适用于橡胶工业废气治理工程、塑料工业废气治理工程、岩棉加工废气治理工程、网格布加工废气治理工程、喷涂工业废气治理工程、铸造消失模废气治理工程等。
工艺简介：
1、收集废气，使用集气罩或集气室在废气产生点对废气进行收集工作，然后通过工艺管道输送到净化设备中。
2、预处理，使用预处理设备对废气进行预处理，预处理设备包括：冷凝器（降温除水），除尘器（除尘），干燥器（除水）。
3、吸收治理工序，在经过预处理设备后，废气成为无尘且温度适合的气体，此时使用低温等离子体对废气进行治理，低温等离子体是不同于液态固态气态的第四态，由大量电子、羟基自由基（OH-）和O构成，具有很强的氧化活性，等离子体作用在废气上，可直接将废气中的有机组分氧化分解成CO2、H2O和N2，洁净空气则通过烟囱达标排放。
适用范围：应用于喷漆车间、油墨印刷、喷涂车间、化工、医药、橡胶、食品、印染、造纸、酿造等制造加工过程中产生的有毒有害废气处理。