绿碳化硅微粉制造加工方式与黑碳化硅基本相同，只是对原材料的要求不同。绿碳化硅是以石油焦和优质硅石为主要原料,添加食盐作为添加剂，通过电阻炉高温冶炼而成，经冶炼成的结晶体纯度高，硬度大，其硬度介于刚玉和金刚石之间，机械强度高于刚玉。
超细碳化硅粉体性能优于传统的碳化硅粉体，能够达到高新技术领域的严格要求，具有更为广泛的用途。近年来，在高新技术领域发展起来的超细碳化硅粉体制备的方法，主要归为三种：固相法、液相法和气相法。
固相法主要包括以下几种：碳热还原法、Si与C直接反应法（包括高温自蔓延合成法和机械合金化法）。
液相法主要包括以下几种：溶胶—凝胶法、聚合物热分解法和溶剂热法。
气相法主要包括以下几种：化学气相沉积法（CVD）、等离子体法、激光诱导气相法
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