电真空器件污染物的主要来源：
1、在加工原材料过程中，所使用的润滑油；
2、操作人员手上的脏物和唾液，因为在制造电真空器件，主要靠人力手动完成装配，工作时不可避免的对零部件造成污染；
3、去油过程中溶剂的残留物，例如：自来水中的盐类和有机物质，金属零件使用的金属去油剂等；
4、零部件存放时，空气中含有的灰尘、水蒸汽等。
深圳威固特VGT-509FHA全自动智能式超声波清洗机烘干机：
概述：
设备共有5个功能槽，配置有抛动系统、循环过滤系统、自动恒温系统、定时系统、自动智能式机械手、热风烘干系统等。设备采用环保型水溶剂洗涤、纯水漂洗，为环保型自动智能型清洗烘干机。
清洗过程中工件通过超声波高频产生的“气化现象”的冲击和系统自身不停地作上下运动，增加了液体的摩擦，从而使工件表面的污垢能够迅速脱落，实现其高清洁度的目的。