Azbil山武MCS100系列微流量传感器使用山武公司独立研发的微流量传感器芯片，响应速度快。由于采用了质量流量的测量原理，其测量不受气体压力的影响。
MCS100可用于各种科学仪器中的空气流量的检测，也可用于微小电子部品吸附的确认。
型号表： MCS100A112-2
CMS100A100 MCS100A100-1 MCS100A104 MCS100A104-1
MCS100A108 MCS100A108-1 MCS100A112 MCS100A112-1
山武微流量传感器MCS100A112 AZBIL流量计