马尔共聚焦显微镜是一个表面的精密三维测量分析集于一体的。适用于计量测试实验室以及在生产环境中使用由于它的坚固性。用共聚焦显微镜测量快速、简单的几步的功能。灵活和用户友好的光学测量系统已成功地应用于许多公司和行业的粗糙度测量,根据ISO,测量地形,微观几何形状,层厚度或其他参数。是在汽车行业,成功部署的医疗技术、微电子技术、造纸和印刷业、钢铁业、光学生产。
马尔共聚焦显微镜采用多孔共聚焦技术,结合CCD的影像摄取,以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞,再将物镜垂直移动,以类似断层摄影方式,可在短时间(约几秒)内精确量测物体的三维数据。其测量方式是非接触式,不会破坏样品的表面,不需要在真空环境下测量,也可以用共聚焦显微镜测量的功能来观测样本,其在严酷的工作环境下,也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法,在测量渐变较大的高度时,跟其他方法相比,可以更精确量测物体高度,建立3D立体影像,优势相当明显。
以的快速和三维大面积扫描区分其本身,具有高的动态和测量精度。剖面数据可以精确地获得几乎所有的表面,独立于不同的反射特性或斜率。测量范围从毫米到微米范围内。非常快的测量速度允许高吞吐率。三维直线传感器适用于在各种工业领域和研究范围从汽车、微系统中的应用,电子和半导体医疗技术和其他。
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