真空抽滤系统
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真空系统存在的泵的名词解释：
主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度 来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。
前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片泵或滑阀泵就是前级泵。
粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。
维持泵：在真空系统中，气量很小时，不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。
真空抽滤系统
真空系统的组成：
1．抽气设备：例如各种真空泵；
2．真空阀门；
3．连接管道；
4．真空测量装置：例如真空压力表、各种规管；
5．其它元件：例如捕集器、除尘器、真空继电器规头、储气罐等。
真空抽滤系统
普诺克真空系统产品图
