一、产品特性
目前碳酸钠、碳酸钾广泛使用于干膜制程,由于槽液含有大量碳酸根,当其结合水中钙、镁离子,产生固体沉淀,此白色沉淀不仅附着在槽壁,同时亦阻塞管路与喷嘴,容易造成显影不良等后遗症,重者将破坏设备降低设备寿命。
酸性清槽剂为单液型,针对上述制程困扰研发,能有效清除干膜槽沉淀固体,并可溶解干膜槽中的油性物质,定期清槽可有效确保制造加工质量延长设备寿命。
二、 配槽方法
酸性清槽剂 |
30%-50% |
水 |
50%-70% |
清槽步骤:
1、 先排放掉旧显影液,再用清水清洗10分钟。
2、 加酸性清槽剂(40%),并以清水加至标准液位。
3、 升温至40℃,喷洗1-3小时后排放此液。
4、 注入清水喷洗10分钟后排放,再用高压水枪冲洗。
5、 注入清水喷洗15分钟后排放,即可完成清槽程序。
三、操作条件
1、 温 度:30~40℃
2、 浓 度:40%
3、 时 间:1-3小时(视沉淀物多少而定)
四、产品性质
1、 外 观:无色至淡红色液体
2、 比 重:1.0±0.2
3、 PH 值:PH<4
4、 闪 火 点:不可燃