真空装置由许多不同的零件组成，它们都是经过各种机械加工完成的，如车、铣、刨、磨、锉、等。这样，零件表面不可避免地会沾上许多加工油脂、汗痕、抛光膏、焊剂、金属屑、油垢等污染物。这些污染物在真空中易挥发，影响真空设备的限真空。此外，污染物在大气压下吸附了大量的气体，在真空环境中，这些气体也要被释放出来。构成了真空设备真空的因素。为此，零件组装前掉污染物。
真空装置使用过程中，零件还会受到污染。这种污染与使用条件及真空泵有关。如真空干燥系统，经常使用后会受到蒸发出来的物质的污染;真空镀膜机的内壁会被蒸镀材料污染;离子束刻蚀设备的内壁会被工件溅射的溅散物污染;真空中的电子枪的灯丝，由于高温蒸发会使其附近表面形成金属膜;规管灯丝在高温下蒸发，使陶瓷绝缘子上形成薄膜，破坏绝缘强度，影响测量的准确性。真空系统中的机械泵油和扩散泵油更是污染源，设备长期工作后会使设备内部形成明显的油膜。这些污染同样会影响设备的性能，应注意随时。
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负压真空泵装置污染的形成及其影响