螺杆真空泵通常是不允许工作的温度过高的，一旦温度过高就会对设备的运行产生一定的影响。螺杆真空泵的冷却是可以让设备的温度降低，选择合适的冷却方式让设备达到较好的冷却效果。
一.壳体冷却。
干式螺杆真空泵由于转子在工作过程中无润滑油的参与，无法通过润滑油带走工作时产生的热量。尤其是等螺距螺杆真空泵，由于无内压缩过程，排气温度非常高，如冷却效果不好，会造成转子和机壳变形，影响抽气效果。
因此干式螺杆真空泵壳体采用双层管壁中空结构，我们可以称之为冷却套，其内置冷却液，是干式螺杆真空泵的主要散热通道。水冷是比较常见的方法，冷却套中通冷却水，可以达到冷却壳体进而冷却转子的目的。
在此之外少数公司可以在转子内部通水冷却，增加转子寿命，并达到很好的冷却效果。但该结构设计，需要一定的技术及加工水平支持。
二.气体冷却。
用水冷有时不能达到比较理想的冷却效果，因而通常在靠近排气端转子附近通冷却气体（多为氮气），现在国外的主流干式螺杆真空泵都采用这种方法。这种方法有两个好处：一个是能冷却转子及机壳，降低排气温度；另一个是，当气体内含有颗粒物时，能防止颗粒物沉积或者引发各类化学反应。
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医用真空泵螺杆真空泵的冷却方式