有机废气进入集成设备后，经过UV紫外光束区时，被紫外光波高能高效率地照射，瞬间产生光解反应；经过等离子体电场时，产生裂变分解反应；如此协同高效地产生一系光解和分解反应，经过多级净化后从而达标排放。
采用低温等离子体分解油雾、废气等污染介质时，等离子体中的高能离子起决定性的作用。流星雨壮的高能离子与介质内分子（原理）发生非弹性碰撞，将能量转化成基态分子（原子）的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程使污染介质处于活化状态。污染节制在等离子体的作用下‘产生活性自由基’活化后的污染物分子经过等离子体定向连化学反应后被脱除。当离子平均能量超过污染介质中化学键结合能时，分子键断裂，污染介质分解，并在等离子发生器吸附场的作用下被收集。在低温等离子体中，可能发生各类的化学反应，这主要取决于等离子的平均能量、离子密度、气体温度、污染物介质内分子浓度及共存的介质成分
对气态有机污染物的降解机理
有足够的能量来产生自由基，引发一系列复杂的物理、化学反应。由低温等离子体引起的气体有机物化学反应是在气相中进行的电离、离解、激发、原子、分子间的相互结合及加成反应。这个能量足以使大多数气态有机物中的化学键发生断裂，从而使其降解。
净化机理
采用脉冲高压高频等离子休电源和齿板放电装置，使其产生高强度、高浓度、高电能的活性自由基，在毫秒级的时间内，瞬间对有害废气分子进行氧化还原反应，将废气中的大部分污染物降解成二氧化碳和水及易处理的物质。
利用催化氧化剂的强氧化性和高吸附性，持续地对等离子休未处理尽的污染物和生成的物质进行催化氧化反应，使有害废气经过多级净化后好终达标排放。
新颖的结构设计将低温等离子体的发生装置和催化氧化装置有机地结合在同一净化设备内，发挥了复合净化的效能，使之满足占地小，重量轻，能耗少，效率高的设计要求。
功能特点：
具有一次性净化率高，能同时净化多种污染物，
防火性能采用开关，电源，电路三重自动保护，
设备体积小，结构紧凑，工艺成熟。
设备投资少，运行成本低。