中文别名：六甲基二硅亚胺; 1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷; 六甲基二硅胺烷; HMDS
分子式 C6H19NSi2
分子量 161.39
CAS号 999-97-3
EINECS号 213-668-5
密度： 0.765
熔点： -78℃
沸点： 125℃
闪点： 20℃
性 状 无色透明液体、无毒、略带胺味
用途：中间体，是羟基及**保护剂；特种有机合成。硅藻土、白炭黑、钛等粉末的表面处理。半导体工业中光致刻蚀剂的粘结助剂。
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