中文名称： 四甲基氢氧化铵
中文别名： 氧化四甲铵; 氢氧化四甲基胺
英文名称： Tetramethylammonium hydroxide
CAS号： 75-59-2
EINECS号： 200-882-9
分子式： C4H13NO
分子量： 91.15
密度： 1.016
沸点： 110℃
闪点： 6℃
产品用途：
用作极谱分析试剂电子级四甲基氢氧化铵具有强碱性，25%的水溶液被称为碱性显影液，主要是利用其将光阻经曝光后形成的有机酸中和、剥落，留下未反应的光阻图案。金属离子<5ppb。
半导体制程中常采用四甲基氢氧化铵（TMAH，tetramethyl ammonium hydroxide）去除光阻，并且产生含四甲基氢氧化铵的废水。由于四甲基氢氧化铵具有毒性，废水不可直接排放，一般的作法是使用微生物或漂白水将废水中的四甲基氢氧化铵分解后再排放。微生物分解四甲基氢氧化铵的速率慢，且须使用大面积的场地，无法符合目前半导体产业的需求。
使用漂白水分解四甲基氢氧化铵，一般是采用折点加氯法，通过反复在四甲基氢氧化铵废水中加入次氯酸，并控制反应时的酸碱值在PH6至PH7之间，来达成分解四甲基氢氧化铵的目的。然而折点加氯法须耗用大量的次氯酸，且反应过程中因为要不断的加次氯酸，酸碱值区间的控制难度高。此外，四甲基氢氧化铵与次氯酸反应氯化之后，与水作用又会还原成氨氮形式，大大的降低了分解效率，其分解效率约只有5%至10%。