光氧虽然是一个远景非常好的技术，可是也避免不了像的技术一样产生废气，光氧产生的废气其实不难处理，只要UV光氧净化设备的细节把握好，那么UV光氧净化设备就不难了。 UV光氧净化设备发生的废气采用UV光氧净化设备系统就可以完美的处理了。光氧的废气净化设备包括废气搜集设备和新风弥补设备。这两个光氧催化的设备准备好后，还要有二氧化钛光触媒系统加速反应速率。
UV光氧催化设备中对有机挥发性废气首要进行光解与催化氧化。光解首要是通过高能UV紫外线对空气中的氧气产生分化作用，推进氧分子分化变成游离态的氧，因为游离态氧上的正负电子处于不平衡状态UV光氧催化设备，因而游离态氧极易与氧分子结合生成臭氧，而臭氧的强氧化作用可以推进有机挥发性废气的分化。在UV高效设备内安装着紫外线放电管，紫外线放电管发生的光子具有很高的能量，高能量的光子能可以迅速裂解小于该能量的有机挥发性废气的分子键，使其转变为无机小分子物质。来达到废气净化的目的。