HVA 矩形阀 88200 系列
上海伯东美国 HVA 矩形阀门 88200 系列矩形板阀是采用了直连驱动技术的接口阀, 可靠使用寿命超过1百万次. HVA 矩形门好于真空相关系统, 起隔绝真空压力的作用. HVA 矩形阀外形尺寸小, 设计紧凑, 可靠应用于生产线与过渡腔室 load-lock chamber 过渡腔室 load-lock chamber 与传输系统handling system, 传输系统 handling system 与工艺腔室 process chamber 等等需要分隔真空压力的地方.
HVA 88200 系列矩形阀产品特点
1. 超百万次可靠运行寿命
2. 不产生粉末，颗粒，防尘设计
3. 阀动作平稳,振动和冲击小
4. 标准接口，或按客户要求定制
5. 阀体材料经过1E-6Torr,1100℃真空铜焊处理
6. 适用于1E-9Torr,200℃条件下
HVA 矩形阀 88200 系列技术参数
连接形式： | 标准或定制法兰 |
|---|---|
主体材料： | 铝 |
公称通径： | DN32*222 mm-DN50*336 DN32*222 mm-DN100*1250 |
漏率: | 2x10E-9 AtmCC/Sec |
压力范围: | 1x10E-9 Torr |
烘烤温度: | 《150℃ |
适用介质： | 水、蒸汽、空气 |
密封形式： | 软密封型 |
驱动方式： | 气动 |
使用寿命: | 1000000 启闭次数 |
HVA 矩形阀 88200 系列部件图
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