第六代高性价比扫描电镜 Phenom Pure 是一款使用高亮度 CeB6 灯丝的高分辨台式扫描电镜。放大倍数 175,000 倍,用于观察亚微米样品的微观结构。Pure 具有全自动操作、15 秒快速抽真空、不喷金观看绝缘体、2-3 年更换灯丝等特点,适用于传统大电镜待测样品的快速筛选,也适合于光学显微镜的分辨率无法满足需求的客户。
高性价比扫描电镜 Phenom Pure
Phenom Pure 高性价比标准版参数
光学显微镜:放大 27 倍
电子显微镜:175,000 倍
探测器:高灵敏度四分割背散射电子探测器
灯丝材料:1,500 小时 CeB6 灯丝
分辨率:优于 10 nm
放置环境:采用专业防震设计,可摆放于普通实验室或办公室、厂房
加速电压:5kV 和 10kV
抽真空时间:小于 15 秒
Phenom Pure 可选配所有的样品杯选件和所有的拓展功能软件选件。
电子半导体材料是现代制造的基础,是推动集成电路产业发展创新的关键,几乎贯穿整个集成电路制造过程。电子器件在实际服役过程中,由于设计原因或器件与环境相互作用,性能或结构发生变化,可能会出现性能下降或者破坏,需要对失效的原理、机理进行明确并制定相应的改善措施。
失效分析对于纠正设计和研发错误、完善产品、提高产品良品率和可靠性有重要意义,飞纳电镜可以提供简单、高效、精确的电子半导体材料检测方案,对于失效模式的确定有很大的帮助。
产品来源:
https://www.chem17.com/st232783/product_26539084.html
http://www.desktopsem.com/Products-26539084.html