光氧等离子一体机经过长期研究发现，当化学物质通过吸收能量（如热能、光子能量等） ，可以使自身的化学性质变得更加活跃甚至被裂解。当吸收的能量大于化学键键能，即可使得化学键断裂，形成游离的带有能量的原子或团。在波长范围154nm-184.9nm（1200KJ/mol-600KJ/mol）高能紫外线的作用下，一方面空气中的氧被裂解，然后组合产生臭鸦另一方面将污染物化学键断裂，使之形成游离态的原子或团；同时产生的臭氧参与到反应过程中，使废气*终被裂解，氧化成简单的稳定的化合物，如CO2、H2O、N2等。
光氧等离子一体机的原理：
主要采用脉冲高频高压等离子体电源和双介质齿板放电装置，尖端放电形式产生高浓度离子。等离子体是一种聚集态物质，其所拥有的高能电子能在毫秒级的时间内，瞬间击穿空气和废气分子，发生一系列分化裂解反应，产生高浓度、高强度、高能量的活性自由基和各种电子、离子等，在与机废气中的分子碰撞时会发生一系列基元物化反应，光氧等离子一体机并在反应过程中产生多种活性自由基和生态氧，即臭氧分解而产生的原子氧。活性自由基可以有效地破坏各种#、细菌中的核酸，蛋白质，使其不能进行正常的代谢和生物合成，从而致其死亡；而生态氧能迅速将有机废气分子异味气体分解或还原为低分子无害物质；另外，借助等离子体中的离子与物体的聚合吸附作用，可以对小至亚微米级的细微有机废气颗粒物进行有效的吸附沉降处理