光氧等离子一体机主要运用于油漆喷涂、造纸页、制药业、汽车制造加工、污水处理、轮胎及橡胶制造加工厂、垃圾处理废气、污泥废气处理、皮革业、印刷厂、香料制造加工业、饲料及饲养场、农药制造加工以及烟草业等等多个领域的有毒有害气体、异味和恶臭处理。涉及气体物质多达900多种，主要包括：硫化氢、氨氮类、硫醇类、硫醚类、吲哚类、苯类、硝基类、烃类以及醛类等类别。
等离子工业废气处理技术已研制出标准化废气治理设备，利用所产生的高能电子、自由基等活性粒子激活、电离、裂解工业废气中的各组成份，使之发生分解，氧化等一些列复杂的化学反应，再经过多级净化，从而消除各种污染源排放的异味、臭味污染物，使有毒有害气体达到低毒化、无毒化，保护人类生存环境。低温等离子废气处理技术，采用双介质阻挡放电形式产生等离子体，所产生等离子体的密度是其他技术产生等离子体密度的1500倍，好初用于氟利昂类、隆类物质的分解处理，后延伸至工业恶臭、异味、有毒有害气体处理。该技术节能、环保，应用范围广，所有化工制造加工环节产生的恶臭异味几乎都可以处理，并对二恶英有良好的分解效果。
光氧等离子一体机，综合采用了等离子废气净化器和紫外光触媒除臭废气净化器两种设备的优点组合而成，利用等离子分解技术和UV紫外光解技术结合，对废气和臭气进行高效协同净化处理：经过等离子体电场时，在纳秒级时间范围内，产生裂变分解反应；如此协同高效地产生一系光解和分解反应，经过多级净化后从而达标排放。有机废气和恶臭气体进入集成设备后，经过UV紫外光束区时，被紫外光波高能高效率地照射，瞬间产生光解反应。