光氧等离子一体机是指在光的作用下进行的化学反应。光化学反应需要分子吸收特定波长的电磁辐射，受激产生分子激发态，继而发生化学反应生成新的物质或变成引发热反应的中间化学产物。光催化剂是指在光的照射下，自身不起变化，却可以促进化学反应的物质。它利用光能转化成化学反应所需的能量，产生催化作用，使周围的氧气及水分子激发成极具氧化力的自由基或负离子。
光氧等离子一体机的技术特点及使用工作基本机理：众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对各大工业废气及其它刺激性异味有清除效果。各大工业废气利用排风设备输入到本净化设备后，净化设备运用高能UV紫外线光束及臭氧对各大工业废气进行协同分解氧化反应，使工业废气物质其降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外。利用高能-C光束工业废气中细菌的分子键，再通过臭氧进行氧化反应，达到净化的目的．根据不同的废气成分配置27种以上相对应的惰性催化剂，催化剂采用蜂窝状金属网孔作为载体，全方位与光源接触，惰性催化剂在338纳米光源以下发生催化反应，放大10-30倍光源效果，使其与废气进行充分反应，缩短废气与光源接触时间，从而提高废气净化效率。