低温等离子空气净化器其净化作用机理包含两方面：一是在产生等离子体的过程中，高频放电所产生的瞬间高能，足够将一些臭气分子）分解为单质原子或无害分子；二是等离子体中包含大量的高能电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基，这些活性粒子和部分臭气分子碰撞结合，在电场作用下，使臭气分子处于激发态。当臭气分子获得的能量大于其分子键能的结合能时，臭气分子的化学键断裂，直接分解成单质原子或由单一原子构成的无害气体分子。低温等离子体中的高能电子可使气体分子（如氧分子、氮分子）带上电子而成为负离子，它具有许多良好的健康效应，对人体及其他生物的生命活动有着十分重要的影响，被人们誉为“空气维生素”、“长寿素”。低温等离子体的净化作用还具备显著的生物效应，发生的静电作用可导致微生物死亡，因此低温等离子体除臭技术具有有秀的消毒杀菌之功效。
低温等离子空气净化器在处理废气及废水的过程中，同时具有除尘、祛味、消毒杀菌、降解有机废气、释放负氧离子等多功能合一处理功效。该装置在废气及废水的治理上具有广泛的环境保护作用。