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看辅助电路的步骤
辅助电路包含控制电路、信号电路和照明电路。
分析控制电路。根据主电路中各电动机和执行电器的控制要求，逐一找出控制电路中的其他控制环节，将控制线路“化整为零”，按功能不同划分成若干个局部控制线路来进行分析。如果控制线路较复杂，则可先排除照明、显示等与控制关系不密切的电路，以便集中精力进行分析。
好步：看电源。首先看清电源的种类．是交流还是直流。其次．要看清辅助电路的电源是从什么地方接来的，及其电压等级。电源一般是从主电路的两条相线上接来，其电压为380V。也有从主电路的一条相线和一零线上接来，电压为单相220V；此外，也可以从好隔离电源变压器接来，电压有140、127、36、6.3V等。辅助电路为直流时，直流电源可从整流器、发电机组或放大器上接来，其电压一般为24、12、6、4.5、3V等。辅助电路中的一切电器元件的线圈额定电压必须与辅助电路电源电压一致。否则，电压低时电路元件不动作；电压高时，则会把电器元件线圈烧坏。
第二步：了解控制电路中所采用的各种继电器、接触器的用途，如采用了一些特殊结构的继电器，还应了解他们的动作原理。
第三步：根据辅助电路来研究主电路的动作情况。
13893 SMC SOLENOID VALVE ASSY, V0307-5GS VG342R
14628 MILLIPORE PLANARGARD, CMP FILTER 10", CMP701E06
14938 APPLIED MATERIALS CABLE ASSY 2-PHASE DRIVER INPUT 0150-20639
15094 APPLIED MATERIALS P_LINE SPILL,DRIP PAN SENSOR 0150-76765
1990 SWAGELOK 1/4" BELLOWS SEALED VALVE SS-BNS4-C
15895 APPLIED MATERIALS ORING VITON 75 47-75 BLACK 3700-01136
16784 APPLIED MATERIALS CABLE ASSY GPLIS INJECTION VALVE HEATER 0150-38363
15743 WATLOW ANAFAZE PCB PANEL INTERConNECT CARD, COMPonENT SIDE 31040-00
16998 APPLIED MATERIALS SEAL DIAPHRAGM 8" TITAN HEAD 0020-79222
17392 LAM RESEARCH PRECISION SNSRS ABSOLUTE PR SWITCH 768-093959-200
17305 THERMO LABSYSTEMS VARIABLE SINGLE CHANNEL FINNPIPETTE, 5-50μL 4600020
18062 APPLIED MATERIALS CABLE ADPTR BARO 9/15 SUB 0150-10074
18270 APPLIED MATERIALS BRKT GEN RACK CONN PLATE 0020-76474
18526 SMC REGULATOR, SET PRESS: 0.05 - 0.7 MPA SRH4111-03
18189 FESTO PNEUMATIC VALVE VL/O-3-1/8-B-NPT