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◆压电阀和气动部件(双作用为例)压电阀是集成在气动部件内部，是.器的关键元件，它是一种新型可靠的反压电转化技术，也称作压电弯曲转换器。有一个进气孔、一个出气孔和一个排气孔，外加2根电极。当加上24V电压时内部元件弯曲变形，进气孔和出气口导通，排气口关闭。当加上0V地压 时，元件又恢复原形，进气孔关闭，排气口和出气口打开。
当加上连续的24V电压时，压电阀输出连续的压力P1，当加上24V的脉冲信号时，压力阀就输出脉冲压力P1。压电阀由于质量体积很小，响应速 度很快，可以发出很短的控制脉冲(气动脉冲)因而能够达到很高的.精度。
压电阀的工作压力是可调的，P0太大或太小，P1无法控制。
气动部件是结构较为复杂，设计精巧，其作用类似于五通阀，工作方式如图所示。气动部件好易受损的部件是压力膜，因为它要频繁的承受压电阀输出的连续或脉冲压力。若压力膜片破损，将无法控制V1、V2、V3、V4。
◆行程检测系统
行程检测系统是采用可以360°任意转动的单圈电位器、传动轴和一组反馈轮组成见图3。用于检测阀门的开度。电位器旋转一周，输出电阻从0kΩ变化到9.9kΩ，即范围0-9.9kΩ。输出电阻连接到电路板，由A/D转换器转换成数字量送到微处理器，用于显示和比较。反馈轮的组合有两种选择，即33°与90°，前者的反馈比较小，适用于大行程的直行程机构。
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